爐膛內(nèi)的壓力能抽成低于大氣壓力的工業(yè)爐。真空爐用電加熱，被加熱的工件表面不氧化,不脫碳,變形小，機械性能好。用真空爐熔煉金屬有利于除去雜質(zhì)，成品針孔少，偏析小、質(zhì)量好。真空爐適用于高質(zhì)量、高純度、難熔金屬的熔煉和加熱，例如用于鎢、鉬、鉭、鈮、鈦、耐熱合金鋼的冶煉和磁性材料，電工材料、高強鋼、不銹鋼、工具鋼、模具鋼等的熱處理。
真空爐出現(xiàn)于20世紀(jì)30年代前后。1927年美國制成電工材料真空退火爐。1953年真空自耗電弧爐在工業(yè)上已用于熔煉海綿鈦。50年代前后真空感應(yīng)爐在工業(yè)上得到廣泛應(yīng)用。1960年美國研制成油淬真空爐。
真空爐一般由爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)和控溫系統(tǒng)等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止?fàn)t殼受熱后變形和密封材料受熱變質(zhì)，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內(nèi)。根據(jù)爐子用途,爐膛內(nèi)部裝有不同類型的加熱元件,如電阻、感應(yīng)線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)裝有坩堝，有的還裝有自動澆注裝置和裝卸料的機械手等。真空系統(tǒng)主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。
真空爐按加熱元件分為真空電阻爐、真空感應(yīng)爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐（又稱電子轟擊爐）和等離子爐等。
